欢迎来到 ATOVAC co.,ltd.
韩国ATOVAC公司成立于1997年10月，开始开发半导体生产过程中的气体和真空控制系统、测量等主要部件。
我们正在推动 MFC、MFC 控制器、对流压力计和控制器、离子压力计和控制器、电容压力计、节流阀控制器等智能组件的开发。我们 ATOVAC 将保持我们作为可靠和受人尊敬的公司的
地位未来和现在。请给我们更多的鼓励和建议。我们始终对客户的意见持开放态度。
GVC2200真空计控制器
GVC2200型号可同时连接使用“热阴极电离计、对流增强型皮拉尼计”和“电容压力计”,测量范围为高真空(10-9Torr)至大气压(1000Torr)。这相当于“对流增强型皮拉尼计”和“热阴极电离计”的连续测量范围。另外,该控制器的设计是根据连接规的个数,按照需求的情况,可以对测量通道进行选择。Interface端口可与外部其他机器连接，由6至8个独立的设定点继电器,4个模拟输出，TTL、IG开/关功能组成。另外,利用内部设定点,在脱离对流计压力测定范围进入高真空时,自动打开离子计,除气功能也可作为时间控制使用。
特点
离子真空计控制器标准尺寸，便于安装
可以选择测量通道
图形LCD显示。
6、8个Set-point供外部设备使用
离子计保护功能（自动开启/关闭）
状态栏可以确认SP、IG on/off等目前状态
ATM、零点设置按钮技术规格
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测量范围
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对流增强型皮拉尼计 : 1000Torr至8.0 x 10-4 Torr
离子计 : 1.0x10-4至1.0 x 10-9 Torr
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离子计灵敏度
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工厂设置:10/Torr
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发射电流
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0.1mA、1mA、10mA 可调 （默认设置：1mA）
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收集极电压
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0V
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阴极电压
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+30Vdc
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栅极电压
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+180Vdc
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除气
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I2R：10Vac 5amp （Max）
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显示
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128 x 64 位LCD
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设定点继电器
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6个，可独立设置，SPDT (0.5 Amp @125 VAC)
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设定范围
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对流计: 1000 ~ 1.0 x 10-3 Torr
离子计: 1.0 x 1.0-3 ~ 1.0 x 10-9 Torr
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电压输出
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0-10Vdc 用于2个CG、1个IG
0-10Vdc用于电容压力计
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接口
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RS232C
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电源
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195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA
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尺寸
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W x H x D : 241mm x 88mm x 250mm离子计
Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极（阳极）加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时精确的。
技术规格
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测量范围
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4*10-10至10-3Torr
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精度-N2（典型值）
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±20%
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X射线极限
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4*10-10Torr
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灵敏度-N2
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10/Torr
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电子轰击除气EB
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100W
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焦耳除气I2R
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10A时，6.5至7.3Vac
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阴极-加热电流
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4-6A
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阴极-加热电压
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3-5V
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阴极-电压
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+30Vdc
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收集极电压
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0V
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栅极电压
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+180Vdc
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烘烤
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450℃
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收集极
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0.01英寸直径，钨丝
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阴极
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双钨丝或单根铱丝
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文章关键词：
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