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ENTEGRIS快速通风扩散器，WG3D50DR2
 
 

  • ENTEGRIS快速通风扩散器，WG3D50DR2

  • 产品分类：Entegris
  • 通过减少负载锁定和转移室中的微粒和排气时间来提高效率和吞吐量。
产品订购热线：18020505162
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  • 烧结镍技术获得专利,在所有应用中性能优异
  • 设计能够清除来自进入气体的超过0.0015的微粒,最大限度地减少晶圆缺陷
  • 提供快速通风,不干扰或向晶圆中添加微粒,减少循环时间,同时增加吞吐量
  • 结合扩散器的流动特性和高效滤波器,以提高效率和吞吐量
  • 易于改装/安装到现有工具,最大限度地减少停机时间
网上采购： ENTEGRIS快速通风扩散器，WG3D50DR2
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