英特格ENTEGRIS在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2，
英特格ENTEGRIS在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2，
英特格ENTEGRIS在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2，
Wafergard
MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
-
兼容所有类别的半导体工艺气体
-
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
| 材料 |
滤芯 |
由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜 |
| |
住房 |
电抛光低硫 316L 不锈钢外壳 |
| 下游清洁度 |
粒子 |
小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm |
| |
挥发物（银） |
<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb） |
| 移除等级 |
≥0.0015 微米 |
| 表面处理内部 |
WGMX（青铜）MB XXXX |
≤20 μin Ra |
| |
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX |
≤7 μin Ra |
| 氦泄漏等级 |
合格的 |
2 x 10 -10 atm-cc/秒 |
| |
经过测试 |
1 x 10 -9 atm-cc/秒 |
运行条件
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最大入口压力
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Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR ®兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig) |
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青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig) |
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Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok ®兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig) |
| |
最大正向压差 |
7 巴 (102 psid) |
| |
最大反向压差 |
2.5 巴 (36 psid) |
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最高工作温度 |
120°C (248°F) |
| 流量等级 |
参考性能数据 |
| 保修单 |
青铜 |
1年 |
| |
银 |
3年 |
| 颗粒保留 |
大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸） |
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克 117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克 117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0 滤芯
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
entegris CTFG01TPE 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2