紧凑，高流量。
去除0.003 µm或更多的99.9999999％或更多的颗粒。
经过特殊清洁的清洁产品。
高品质316L不锈钢外壳。
外形规格
材料过滤聚四氟乙烯
支持PFA
住房低硫SUS316L
颗粒去除率0.003 µm以上的粒子的99.9999999％以上
初始清洁度大于0.01 µm的颗粒<0.03颗粒/ L
H2O，THC<10 ppb（仅限MAX-S）
推荐流量150-1000 NL /分钟
最大工作压力小于1 MPa
最大允许正压差0.7兆帕
最大允许反向压差0.25兆帕
最高工作温度120度