Wafergard
MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
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兼容所有类别的半导体工艺气体
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与一般氮气和 CDA 应用兼容
规格
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性能数据
产品规格
| 材料 |
滤芯 |
由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜 |
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住房 |
电抛光低硫 316L 不锈钢外壳 |
| 下游清洁度 |
粒子 |
小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm |
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挥发物（银） |
<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb） |
| 移除等级 |
≥0.0015 微米 |
| 表面处理内部 |
WGMX（青铜）MB XXXX |
≤20 μin Ra |
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WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX |
≤7 μin Ra |
| 氦泄漏等级 |
合格的 |
2 x 10 -10 atm-cc/秒 |
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经过测试 |
1 x 10 -9 atm-cc/秒 |
运行条件
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最大入口压力
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Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR ®兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig) |
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青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig) |
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Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok ®兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig) |
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最大正向压差 |
7 巴 (102 psid) |
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最大反向压差 |
2.5 巴 (36 psid) |
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最高工作温度 |
120°C (248°F) |
| 流量等级 |
参考性能数据 |
| 保修单 |
青铜 |
1年 |
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银 |
3年 |
| 颗粒保留 |
大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸） |
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克 117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克 117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）