耐用的不锈钢过滤器,为超高纯度(超高纯度),高流量的气体管道,中程流量最高为500标准,如扩散,退火和外延工具。
经优化的高流量和高保留量316L不锈钢过滤器元件,使3x流量和3位数的保留效率比现有模型提高
标准尺寸允许在不改变设计的情况下方便地安装现有的煤气板或输送系统
所有316L不锈钢结构提供持久、持久的性能,与大多数半导体气体良好的气体相容性,以及在高温和动态压力应用中的可靠性
应用程序
WAFGARDII3XP在线气体过滤器应用
超高纯度(超高纯度),高流量GAS线
具有中流范围速率最高为500SLPM的应用,如扩散、退火、外延工具
产品规格
材料 住房膜 316L不锈钢
表面抛光内饰 10米
移除等级 ≥0.0015 µm
下游清洁 Cleanliness 0.03 particles/L (<1 particle/ft 3 ) >0.01µm
营业条件 最大工作压力: 54 bar (780 psig)
最大差压: 9.8 bar (142 psig)
最高操作温度: 460°C (860°F)
氦泄漏等级 有资格的 2 x 10 -10 自动取款机/秒
试验的 1 x 10 -9 自动取款机/秒
保证书 2年
部分编号
带II型3Xp在线气体过滤器部件编号
部分编号 形式因素 关系
WG2L200SS3R2 小型的 1/4" gasket seal (1/4" VCR compatible)
WG2L200SS3R4 小型的 1/2" gasket seal (1/2" VCR compatible)
WG2L500SS5R2 迷你XL 1/4" gasket seal (1/4" VCR compatible)
WG2L500SS5R4 迷你XL 1/2" gasket seal (1/2" VCR compatible)