ENTEGRIS英特格，带II型3Xp在线气体过滤器WG2L200SS3R2和WGL100NS3R2
耐用的不锈钢过滤器,为超高纯度(超高纯度),高流量的气体管道,中程流量最高为500标准,如扩散,退火和外延工具。
经优化的高流量和高保留量316L不锈钢过滤器元件,使3x流量和3位数的保留效率比现有模型提高
标准尺寸允许在不改变设计的情况下方便地安装现有的煤气板或输送系统
所有316L不锈钢结构提供持久、持久的性能,与大多数半导体气体良好的气体相容性,以及在高温和动态压力应用中的可靠性
应用程序
WAFGARDII3XP在线气体过滤器应用
超高纯度(超高纯度),高流量GAS线
具有中流范围速率最高为500SLPM的应用,如扩散、退火、外延工具
产品规格
材料 住房膜 316L不锈钢
表面抛光内饰 10米
移除等级 ≥0.0015 µm
下游清洁 Cleanliness 0.03 particles/L (
营业条件 最大工作压力: 54 bar (780 psig)
最大差压: 9.8 bar (142 psig)
最高操作温度: 460°C (860°F)
氦泄漏等级 有资格的 2 x 10 -10 自动取款机/秒
试验的 1 x 10 -9 自动取款机/秒
保证书 2年
部分编号
带II型3Xp在线气体过滤器部件编号
部分编号 形式因素 关系
WG2L200SS3R2 小型的 1/4" gasket seal (1/4" VCR compatible)
WG2L200SS3R4 小型的 1/2" gasket seal (1/2" VCR compatible)
WG2L500SS5R2 迷你XL 1/4" gasket seal (1/4" VCR compatible)
WG2L500SS5R4 迷你XL 1/2" gasket seal (1/2" VCR compatible)
ENTEGRISSVTG01TQ1
ENTEGRIS 过滤器 WG3NS2RR4
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT4
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
Entegris 过滤器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris 过滤器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS 过滤器 WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMBSS2
Entegris 过滤器 WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT4
ENTEGRIS 过滤器 CBUG0S0S1
ENTEGRIS 滤芯 WGFG01DS0
entegris 滤芯 CTFG01TPE
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 过滤器 WG3NS8RR2
ENTEGRIS LGMXFPSS3
Entegris 过滤器 WG2FT1SS2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS过滤器WGPMOGGT2