SVTG01TQ1美国ENTEGRIS英特格现货15个，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
SVTG01TQ1美国ENTEGRIS英特格现货15个，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
SVTG01TQ1美国ENTEGRIS英特格现货15个，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
ENTEGRIS英格特Savana® AT 过滤器，SVTV01TQ1K，SVTG01TQ1现货特价
在金属控制不重要的应用中，在中等温度下对非脱气化学品和溶剂进行经济高效的过滤。
应用
Savana
AT 过滤器应用
腐蚀性酸和碱，工具点过滤
散装化学品输送以及湿法蚀刻和清洁半导体应用
纯化生命科学应用
大宗化工平板显示应用
基板 - Ni-P 电镀和磁头 - 湿法蚀刻和清洁数据存储应用
LED应用
产品规格
材料： 膜 聚四氟乙烯
支持 粉煤灰
O型圈 封装氟橡胶 (E-FKM)
保留评级： 0.05、0.1、0.2、0.5、1、5、10 微米
保质期（预湿选项）： 1年
膜面积： 4" 0.23 米2 （2.48 英尺2）
10" 0.8 米2 （8.61 英尺2）
20" 1.6 米2 （17.22 英尺2）
30" 2.4 米2 （25.83 英尺2）
最大操作条件： 最大正向压差 0.51 兆帕（5.1 巴，74 磅/平方英寸）@ 25°C (77°F)
最大反向压差 0.35 兆帕（3.5 巴，50 磅/平方英寸）@ 25°C (77°F)
最高工作温度 上述条件下为 120°C (248°F)
笔记：
预湿过滤器封装在装有去离子水和 1% H 2 0 2的袋子中。安装过滤器后，用 20 升去离子水（每 10 英寸）排空并冲洗。
Savana AT 可在 125°C 下进行最多 50 个循环的高压灭菌，或在低于 0.3 巴的压差下在 135°C 下进行最多 50 个循环 30 分钟的原位蒸汽灭菌。
参考资料
零件号
Savana AT 过滤器零件号
零件号 CHEMLOCK钥匙 预湿 长度 保留率
SVTA01TQ1 不 不 10" 1微米
SVTA01TQ1K 是的 不 10" 1微米
SVTA01TQ1KPW 是的 是的 10" 1微米
SVTA02TQ1 不 不 20" 1微米
SVTA02TQ1K 是的 不 20" 1微米
SVTA02TQ1KPW 是的 是的 20" 1微米
SVTA02TQ1PW 不 是的 20" 1微米
SVTA03TQ1 不 不 30" 1微米
SVTA0MTQ1 不 不 4" 1微米
SVTA0MTQ1PW 不 是的 10" 1微米
SVTB01TQ1 不 不 10" 5 微米
SVTB01TQ1K 是的 不 10" 5 微米
SVTB01TQ1KPW 是的 是的 10" 5 微米
SVTB01TQ1PW 不 是的 10" 5 微米
SVTB02TQ1 不 不 20" 5 微米
SVTB03TQ1 不 不 30" 5 微米
SVTB0MTQ1 不 不 4" 5 微米
SVTC01TQ1 不 不 10" 10 微米
SVTC01TQ1K 是的 不 10" 10 微米
SVTC01TQ1KPW 是的 是的 10" 10 微米
SVTC01TQ1PW 不 是的 10" 10 微米
SVTC02TQ1 不 不 20" 10 微米
SVTC03TQ1 不 不 30" 10 微米
SVTC0MTQ1 不 不 4" 10 微米
SVTC0MTQ1PW 不 是的 4" 10 微米
SVTG01TB1PW 不 是的 10" 0.2 微米
SVTG01TQ1 不 不 10" 0.2 微米
SVTG01TQ1K 是的 不 10" 0.2 微米
SVTG01TQ1KPW 是的 是的 10" 0.2 微米
SVTG01TQ1PW 不 是的 10" 0.2 微米
SVTG02TQ1 不 不 20" 0.2 微米
SVTG02TQ1K 是的 不 20" 0.2 微米
SVTG02TQ1KPW 是的 是的 20" 0.2 微米
SVTG02TQ1PW 不 是的 20" 0.2 微米
SVTG03TQ1 不 不 30" 0.2 微米
SVTG03TQ1PW 不 是的 30" 0.2 微米
SVTG0MTQ1 不 不 4" 0.2 微米
SVTG0MTQ1PW 不 是的 4" 0.2 微米
SVTG73T01 不 不 30" 0.2 微米
SVTH01TQ1K 是的 不 10" 0.5 微米
SVTH01TQ1KPW 是的 是的 10" 0.5 微米
SVTH01TQ1PW 不 是的 10" 0.5 微米
SVTH02TQ1K 是的 不 20" 0.5 微米
SVTH02TQ1KPW 是的 是的 20" 0.5 微米
SVTH02TQ1PW 不 是的 20" 0.5 微米
SVTH0MTQ1 不 不 4" 0.5 微米
SVTH0MTQ1PW 不 是的 4" 0.5 微米
SVTV01TQ1 不 不 10" 0.1 微米
SVTV01TQ1K 是的 不 10" 0.1 微米
SVTV01TQ1KPW 是的 是的 10" 0.1 微米
SVTV01TQ1PW 不 是的 10" 0.1 微米
SVTV02TQ1 不 不 20" 0.1 微米
SVTV02TQ1K 是的 不 20" 0.1 微米
SVTV02TQ1KPW 是的 是的 20" 0.1 微米
SVTV02TQ1PW 不 是的 20" 0.1 微米
SVTV03TQ1 不 不 30" 0.1 微米
SVTV03TQ1PW 不 是的 30" 0.1 微米
SVTV0MTQ1 不 不 4" 0.1 微米
SVTV0MTQ1PW 不 是的 4" 0.1 微米
SVTY01TQ1 不 不 10" 30纳米
SVTY01TQ1K 是的 不 10" 30纳米
SVTY02TQ1 不 不 20" 30纳米
SVTZ01TQ1 不 不 10" 0.05 微米
SVTZ01TQ1K 是的 不 10" 0.05 微米
SVTZ01TQ1KPW 是的 是的 10" 0.05 微米
SVTZ01TQ1PW 不 是的 10" 0.05 微米
SVTZ02TQ1 不 不 20" 0.05 微米
SVTZ02TQ1K 是的 不 20" 0.05 微米
SVTZ02TQ1KPW 是的 是的 20" 0.05 微米
SVTZ02TQ1PW 不 是的 20" 0.05 微米
SVTZ03TQ1 不 不 30" 0.05 微米
SVTZ03TQ1PW 不 是的 30" 0.05 微米
SVTZ0MTQ1 不 不 4" 0.05 微米
SVTZ0MTQ1PW 不 是的 4" 0.05 微米
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银）<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISXX67000WH
ENTEGRISWGGB01KAN
ENTEGRISWGFG01KL0
EntegrisWGFGT1PR1
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISYY260103P
ENTEGRISPN2H010E1
EntegrisWGMXMBRR4
EntegrisWGFG02PR1
EntegrisWGFGT1PR1
ENTEGRISDS12-2C-16F-3
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT4
EntegrisWGPM0GGT4
EntegrisWG2SS8RR2
EntegrisWG3NS6RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3
ENTEGRISYY260103P
ENTEGRISPN2H010E1
ENTEGRISWGPMOGGT4
ENTEGRISXX67000WH
ENTEGRISWGGB01KAN
ENTEGRISWGFG01KL0
ENTEGRISWGMXMBRR4
ENTEGRISDS12-2C-16F-3
EntegrisWG2SS8RR2
EntegrisWG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS1RR2
ENTEGRISWG3NS2RR4
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISYY260103N
EntegrisCR4-2C-6F-3
ENTEGRISWGPMOGGT4
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十个）
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRIS CTFV01P01KPW
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331
ENTEGRISWG3NS2RR4
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGMXMBRR4
EntegrisCWFV0S1S3
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGMXMBRR4
ENTEGRISDS12-2C-16F-3
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISCN2501E6
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWGPM0GGG2
entegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWG2SS8RR2
ENTEGRISCN2501E6
EntegrisSVTH01TQ1
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISCN2501E06
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFG50PR1
ENTEGRISWGFG01DSH
ENTEGRISPLMV-K12
ENTEGRISPLMV-K04
ENTEGRISPLMV-K16
ENTEGRISPLPV-K04
ENTEGRISPLPV-K08
ENTEGRISPLPV-K12
ENTEGRISPLPV-K16
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3
ENTEGRISWGFGMBRR4
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGFGMBRR4
EntegrisYY5032PS1
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
entegrisWGFGT1PR1
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFG01DS0
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWG2F15HJJ6
ENTEGRISLGMXFPRR4
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGPM0GGT4
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISYY260103P
ENTEGRISPN2H010E1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWGFG50PR1
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGMBRR4
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPM0GGT4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2