英特格ENTEGRIS晶体盒，PA192-80MN-61C02，期货
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设计为先进的晶圆运输,我们的200毫米开放式墙壁晶圆载体提供了戏剧性的性能优势,比传统的低和中系列晶圆载体。
晶圆在可预测的位置,使精确晶圆访问成为可能
工艺工具和自动化材料装卸系统上可靠的设备操作
保护和防止晶圆受到污染和损害
应用程序
198/192系列200毫米晶圆运输载体应用
198/192系列200mm晶圆运输载体非常适合:
室内运输
过程工具接口
储存法布晶圆
D1维度 25.4毫米(1.00"),依靠磁带
口袋间距 6.4毫米(0.25"),依赖磁带
小公寓 1.7毫米(0.07")
产品规格
瓦夫容量 25
小洞 在顶轨上
定位轨道槽 在第13个口袋的中间
侧墙 公开的
兼容存储箱 E99, E210, HA200
材料规格
9000州 下一代先进的晶圆运输载体材料
碳纳米管(CNT)的静态耗散共混物增强聚乙醚酮(PEEP)碳化合物
温度限制: 120°C(248°F)连续使用
340℃(644华氏度)
国家方案3000 先进的晶圆运输载体材料
PEE和碳纤维的静态耗散混合物
温度限制: 120°C(248°F)连续使用
340℃(644华氏度)
国家方案100 瓦夫运输载体材料
聚丙烯(PP)和碳粉的静态耗散混合物
温度限制: 持续使用
70°C(158°F)
氟进入 
瓦夫运输载体材料
聚对苯二甲酸二丁酯(PBT)和碳纤维的高级混合物
温度限制: 持续使用
95°C(203°F)
蓝色聚丙烯 瓦夫运输载体材料
添加着色剂
温度限制: 持续使用
70°C(158°F)
部分编号
198/192系列200mm晶圆运输载体
部分编号 端墙把手式 颜色 RFID 材料 "H"条端法兰
FA192-80MNS-7902 标准、高级职位 黑色的 不 碳纤维PBT 不
FA192-80MNSM-7902 标准、高级职位 黑色的 是的 碳纤维PBT 不
K198-80M-97C02 标准、高级职位 黑色的 不 国家方案,9000CNT 不
K198-80MB-97C02 标准、高级职位 黑色的 不 国家方案,9000CNT 是的
KA198-80M-47C02 标准、高级职位 黑色的 不 美国环保署3000碳纤维窥视 不
KA198-80M-47C05 标准、高级职位 绿色的 不 美国环保署3000碳纤维窥视 不
KA198-80MB-47C02 标准、高级职位 黑色的 不 美国环保署3000碳纤维窥视 是的
KA198-80MRM-47C02 标准、高级职位 黑色的 是的 美国环保署3000碳纤维窥视 不
PA192-80M-0603 标准、高级职位 蓝色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0604 标准、高级职位 红色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0605 标准、高级职位 绿色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0607 标准、高级职位 黄色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0609 标准、高级职位 橙色 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0615 标准、高级职位 自然的 不 聚丙烯 不
EntegrisWGFG21KP0过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
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ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
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ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
entegris CTFG01TPE 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
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ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
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ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
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ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
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ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
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