198/192200毫米系列晶圆运输载体，ENTEGRIS，PA192-80MN-61C02
198/192200毫米系列晶圆运输载体，ENTEGRIS，PA192-80MN-61C02
198/192200毫米系列晶圆运输载体，ENTEGRIS，PA192-80MN-61C02
设计为先进的晶圆运输,我们的200毫米开放式墙壁晶圆载体提供了戏剧性的性能优势,比传统的低和中系列晶圆载体。
晶圆在可预测的位置,使精确晶圆访问成为可能
工艺工具和自动化材料装卸系统上可靠的设备操作
保护和防止晶圆受到污染和损害
应用程序
198/192系列200毫米晶圆运输载体应用
198/192系列200mm晶圆运输载体非常适合:
室内运输
过程工具接口
储存法布晶圆
D1维度 25.4毫米(1.00"),依靠磁带
口袋间距 6.4毫米(0.25"),依赖磁带
小公寓 1.7毫米(0.07")
产品规格
瓦夫容量 25
小洞 在顶轨上
定位轨道槽 在第13个口袋的中间
侧墙 公开的
兼容存储箱 E99, E210, HA200
材料规格
9000州 下一代先进的晶圆运输载体材料
碳纳米管(CNT)的静态耗散共混物增强聚乙醚酮(PEEP)碳化合物
温度限制: 120°C(248°F)连续使用
340℃(644华氏度)
国家方案3000 先进的晶圆运输载体材料
PEE和碳纤维的静态耗散混合物
温度限制: 120°C(248°F)连续使用
340℃(644华氏度)
国家方案100 瓦夫运输载体材料
聚丙烯(PP)和碳粉的静态耗散混合物
温度限制: 持续使用
70°C(158°F)
氟进入 
瓦夫运输载体材料
聚对苯二甲酸二丁酯(PBT)和碳纤维的高级混合物
温度限制: 持续使用
95°C(203°F)
蓝色聚丙烯 瓦夫运输载体材料
添加着色剂
温度限制: 持续使用
70°C(158°F)
部分编号
198/192系列200mm晶圆运输载体
部分编号 端墙把手式 颜色 RFID 材料 "H"条端法兰
FA192-80MNS-7902 标准、高级职位 黑色的 不 碳纤维PBT 不
FA192-80MNSM-7902 标准、高级职位 黑色的 是的 碳纤维PBT 不
K198-80M-97C02 标准、高级职位 黑色的 不 国家方案,9000CNT 不
K198-80MB-97C02 标准、高级职位 黑色的 不 国家方案,9000CNT 是的
KA198-80M-47C02 标准、高级职位 黑色的 不 美国环保署3000碳纤维窥视 不
KA198-80M-47C05 标准、高级职位 绿色的 不 美国环保署3000碳纤维窥视 不
KA198-80MB-47C02 标准、高级职位 黑色的 不 美国环保署3000碳纤维窥视 是的
KA198-80MRM-47C02 标准、高级职位 黑色的 是的 美国环保署3000碳纤维窥视 不
PA192-80M-0603 标准、高级职位 蓝色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0604 标准、高级职位 红色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0605 标准、高级职位 绿色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0607 标准、高级职位 黄色的 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0609 标准、高级职位 橙色 不 聚丙烯 不
PA192-80M-0615 标准、高级职位 自然的 不 聚丙烯 不
EntegrisWGFG21KP0过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
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ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
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ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
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Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
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Entegris WG2FT1RR2 过滤器
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ENTEGRIS WG3NSMSL2
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ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
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