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VacuSeal 面密封接头专为超高纯度气体分配系统而设计。该接头具有出色的可靠性和泄漏完整性,非常适合清洁度至关重要的半导体制造应用。 技术规格 阀体材质: 不锈钢 配置: 保留凹槽样式 选项: 电解抛光 连接尺寸(英寸): 1/4” 产品类型: 密封件、阀体、焊接组件、焊接模块、垫圈、螺母、盖帽、插头、 连接尺寸: 最大 1 英寸;6 至 18 毫米 连接类型: 管对接焊、自动管对接焊、承插焊、NPT、A-lok、直螺纹 工作温度: 最高可达 1000 °F / 537 °C 压力等级: 高达 9,000 / 620 巴
VacuSeal 金属垫片面密封接头具有极高的泄漏完整性,使其适用于需要超高纯度条件的关键应用,例如半导体工具连接、阀歧管箱 (VMB) 和气体分配系统。该接头采用匹配垫片和环形设计,形成金属对金属密封,并提供从真空到 9000 psig 的无泄漏服务。 VacuSeal 配件的尺寸范围从 1/8 英寸到 1 英寸,提供各种主体和压盖配置。它们在 100 级洁净室中采用 Veriflo 专有的 Vericlean 低硫 316L 不锈钢制造而成。标准 5 Ra 电抛光湿润表面处理减少了夹带区域,同时具有出色的耐腐蚀性。压盖采用高纯度镍和 Hastelloy C-22 制成,以确保在极度腐蚀应用中的性能和可靠性。 VacuSeal 接头设计用于与平面和 Verfilo 的 TorqTite 自对准面密封垫圈配合使用,无需工具即可安装,并可消除由于热循环和振动而导致的组件松动。TorqTite 还可确保密封,即使在损坏的环形线圈上也是如此,并且允许施加极高的扭矩而不会损坏密封表面。再加上 VacuSeal 接头的超高纯度结构材料,可最大限度地减少颗粒生成并确保晶圆制造操作中的泄漏完整性,其中清洁度至关重要。 所有 VacuSeal 接头均经过氦气泄漏测试,以确保在要求苛刻的 UHP 应用中的性能和可靠性。 市场: • 半导体 • 工具制造厂 • 分析实验室 • 制药 • 生物制药 • 航空航天 • 工业 应用: • 腐蚀性和特种气体 • 半导体厂气体分配系统 • 半导体工具 • 工具连接 • 气柜 • 阀门歧管箱 (VMB) 特性/优点: • 两个泄漏测试端口,方便泄漏测试 • 泄漏率:≤1 x 10-9 STD scc/秒 He • 5 Ra 内部电抛光表面处理 • 母螺母采用增强电镀工艺镀银,适用于清洁、电抛光和钝化中使用的腐蚀性化学工艺 • 非旋转内螺母可防止在组装过程中传递扭矩,从而最大限度地减少组件的扭曲,避免应力集中 • 防咬合内螺母可确保组装一致,无需电镀或润滑。 • 获得专利的 TorqTite 垫圈最初接触内锥面,径向挤出任何夹带的污染物 • 压盖上的热代码提供原材料可追溯性 • 无需轴向间隙即可从系统中移除组件 • 平滑过渡到内径可最大限度地减少夹带区域 Hastelloy C-22 是 Haynes International, Inc. 的注册商标。
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