WG3D40TR2，MRO自营现货，Chambergard™ 快速通风扩散器，ENTEGRIS英特格
WG3D40TR2，MRO自营现货，Chambergard™ 快速通风扩散器，ENTEGRIS英特格
WG3D40TR2，MRO自营现货，Chambergard™ 快速通风扩散器，ENTEGRIS英特格
通过减少装载锁和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。
获得专利的烧结镍技术在所有应用中提供卓越的性能
设计能够去除进入气体中大于 0.0015 µm 的颗粒，从而最大限度地减少晶圆缺陷
提供快速排气，不会干扰晶圆或向晶圆添加颗粒，从而缩短周期时间，同时提高产量
将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量
轻松改造/安装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
APPLICATIONS
Chambergard
Fast Vent Diffusers Applications
快速将气体排放到大气中，而不会干扰腔室中的晶圆或向腔室中的晶圆添加颗粒
产品规格
材料 扩散器元件：获得专利的烧结镍膜过滤器
外壳：316L不锈钢
内部表面光洁度：≤32 μin Ra
表现 下游清洁度：额定流量下清洁度小于 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3）大于 0.01 μm
去除等级：≥0.0015μm
可靠性：25°C (77°F) 时最大额定入口压力下 100,000 次循环的可靠性
连接 请参阅数据表
使用条件 请参阅数据表
零件编号
Chambergard 快速通风扩散器零件号
零件编号 O 形圈尺寸 O 形圈槽外径 插座连接类型 O 形圈槽内径 O 型圈槽深 工作条件，最大入口压力（出口至真空） 工作条件，最大压差 工作条件、最高工作温度 入口连接类型
SI2P134R5 没有任何 没有任何 排队 没有任何 没有任何 0.5 兆帕（75 磅/平方英寸） 0.24 兆帕（35 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D16TR2 2-117 26.4 毫米（1.03 英寸） ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 20.3 毫米（0.79 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D228R2 2-117 26.4 毫米（1.03 英寸） ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 20.3 毫米（0.79 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹或内螺纹垫圈密封接头或对焊接头
WG3D25LR2 2-123 35.9 毫米（1.41 英寸） ISO NW-25，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 29.8 毫米（1.17 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D25SR2 2-123 35.9 毫米（1.41 英寸） ISO NW-25，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 29.8 毫米（1.17 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D3LBW2 没有任何 没有任何 没有任何 没有任何 没有任何 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 20 毫米对焊管接头
WG3D401R2 2-246 114.3 毫米（4.50 英寸） ISO NW-100，螺栓贯通 122.4 毫米（4.81） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.25 兆帕（35 磅/平方英寸） 0.35 兆帕（50 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D40DR2 2-224 52.1 毫米（2.05 英寸） ISO NW-40，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 44 毫米（1.73 英寸） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） 0.4 兆帕（60 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D40TR2 2-224 52.1 毫米（2.05 英寸） ISO NW-40，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 44 毫米（1.73 英寸） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
WG3D50DR2 2-229 67.9 毫米（2.67 英寸） ISO NW-50，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 59.9 毫米（2.35 英寸） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.2 兆帕（30 磅/平方英寸） 0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） 带 O 形圈时为 100° C (212° F)，不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4" VCR 兼容外螺纹垫片密封接头
***零件号 WG3D401R2 包括连接器套件； P71917 螺栓和垫圈
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WGFG21KP0 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGFG01DS0 滤芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
entegris CTFG01TPE 滤芯
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR2