Wafergard
GN 气体过滤枪
幻灯片详细信息。
下载图片
这款易于使用、重量轻的气体过滤枪专为半导体应用中压缩气体的 POU 过滤而设计。
PTFE 膜可消除颗粒脱落，在气体应用中可截留 0.003 μm 的颗粒
提供 10 cm 2的有效过滤面积，实现高流速和更有效的晶圆清洁
滤芯经过 100% 预测试和预冲洗，以确保可靠的性能
白色尼龙结构在酸性和大多数溶剂应用中耐腐蚀
Wafergard GN 气体过滤枪应用
大宗气体输送
沉积
干法蚀刻
离子注入
光刻法
产品规格
材料 枪 本体、扳机 白色尼龙模压机身
阀门系统 不锈钢304
O 型圈 三元乙丙橡胶
管道 聚氨酯
筒式过滤器 膜 聚四氟乙烯
外壳、支架 聚丙烯
操作条件： 最大前向压差 0.4 兆帕 @ 20°C (68°F)
最大反向压差 0.03 兆帕 @ 20°C (68°F)
带过滤器的最高工作温度 50°C（122°F）
重量： 大约。 150 克（5.29 盎司）
连接： 过滤枪 ¼ NPTF 入口 NPT 内螺纹
保留： 所有颗粒去除率大于 99.9999999%（以最具穿透力的颗粒尺寸为准）
零件编号
Wafergard GN 气体过滤枪零件号
零件编号 选择选项
P03203J 扳机修理套件（包括 1 个扳机、1 个弹簧和 1 个 O 形圈）
WGFG01KL0 Wafergard GN 气体过滤枪，10/包
WGFG01KL5 Wafergard GN 过滤器 5/包
WGGB01KAG Wafergard GN 气枪
WGGB01KAN Wafergard GN 气体过滤枪
XX67000WH 带接头的聚氨酯管，2/1m /7ft
XX671000T 螺旋管1/40DX5M
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGFG01DS0 滤芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
entegris CTFG01TPE 滤芯
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS LGMXFPSS3