英特格Entegris气体喷枪过滤滤芯WGFG01KL0 ，Wafergard® GN 气体过滤枪

英特格Entegris气体喷枪过滤滤芯WGFG01KL0 ，Wafergard® GN 气体过滤枪

英特格Entegris气体喷枪过滤滤芯WGFG01KL0 ，Wafergard® GN 气体过滤枪

英特格Entegris气体喷枪过滤滤芯WGFG01KL0 ，Wafergard® GN 气体过滤枪

 Wafergard GN 气体过滤枪
幻灯片详细信息。
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这款易于使用、重量轻的气体过滤枪专为半导体应用中压缩气体的 POU 过滤而设计。
PTFE 膜可消除颗粒脱落，在气体应用中可截留 0.003 μm 的颗粒
提供 10 cm 2的有效过滤面积，实现高流速和更有效的晶圆清洁
滤芯经过 100% 预测试和预冲洗，以确保可靠的性能
白色尼龙结构在酸性和大多数溶剂应用中耐腐蚀
Wafergard GN 气体过滤枪应用
大宗气体输送
沉积
干法蚀刻
离子注入
光刻法
产品规格
材料 枪 本体、扳机 白色尼龙模压机身
阀门系统 不锈钢304
O 型圈 三元乙丙橡胶
管道 聚氨酯
筒式过滤器 膜 聚四氟乙烯
外壳、支架 聚丙烯
操作条件： 最大前向压差 0.4 兆帕 @ 20°C (68°F)
最大反向压差 0.03 兆帕 @ 20°C (68°F)
带过滤器的最高工作温度 50°C（122°F）
重量： 大约。 150 克（5.29 盎司）
连接： 过滤枪 ¼ NPTF 入口 NPT 内螺纹
保留： 所有颗粒去除率大于 99.9999999%（以最具穿透力的颗粒尺寸为准）
零件编号
Wafergard GN 气体过滤枪零件号
零件编号 选择选项
P03203J 扳机修理套件（包括 1 个扳机、1 个弹簧和 1 个 O 形圈）
WGFG01KL0 Wafergard GN 气体过滤枪，10/包
WGFG01KL5 Wafergard GN 过滤器 5/包
WGGB01KAG Wafergard GN 气枪
WGGB01KAN Wafergard GN 气体过滤枪
XX67000WH 带接头的聚氨酯管，2/1m /7ft
XX671000T 螺旋管1/40DX5M