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过滤器
美国原装进口Entegris英特格散装在线金属气体过滤器SI2N0100BRR6
 
 

  • 美国原装进口Entegris英特格散装在线金属气体过滤器SI2N0100BRR6

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材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
  住房 电解抛光 VAR 316L 不锈钢
去除等级 0.0015微米
内部表面处理 <10 µin Ra
下游清洁度 <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/ft 3 ) >0.01 µm
氦气泄漏等级 1 x 10 -9 atm cc/秒
最大操作条件 最大工作压力： 50 巴（725 磅/平方英寸表压） SI2N0010R、SI2N0025R
    31 巴（450 磅/平方英寸表压） SI2N0050R、SIN0100B、SI2N0200B、SI2N0200R
    17 巴（250 磅/平方英寸表压） SI2N0400B
  最大正向/反向压差： 5.2 巴（75 磅/平方英寸）
  惰性气体中的最高工作温度： 200°C (392°F)
颗粒保留 在最大额定流量下去除所有颗粒大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的颗粒尺寸为准）
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