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WG3D40DR2，美国原装进口ENTEGRIS英特格快速通风扩散器
 
 

  • WG3D40DR2，美国原装进口ENTEGRIS英特格快速通风扩散器

  • 产品分类：Entegris
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通过减少装载锁和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。

  • 获得专利的烧结镍技术在所有应用中提供卓越的性能
  • 设计能够去除进入气体中大于 0.0015 µm 的颗粒，从而最大限度地减少晶圆缺陷
  • 提供快速排气，不会干扰晶圆或向晶圆添加颗粒，从而缩短周期时间，同时提高产量
  • 将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量
  • 轻松改造/安装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
    材料 扩散器元件：获得专利的烧结镍膜过滤器
      外壳：316L不锈钢
      内部表面光洁度：≤32 μin Ra
    表现 下游清洁度：额定流量下清洁度小于 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3）大于 0.01 μm
      去除等级：≥0.0015μm
      可靠性：25°C (77°F) 时最大额定入口压力下 100,000 次循环可靠性
    连接 请参阅数据表
    使用条件 请参阅数据表
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