推荐用于惰性和活性气体，这些气体过滤器与所有种类的半导体工艺气体具有极好的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和气体柜中。
- PTFE膜提供高效过滤
- 低压降降低了较低蒸汽压气体的冷凝风险
- 与所有种类的半导体工艺气体具有出色的兼容性
- 用于惰性和活性气体，包括臭氧
材料
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滤波元件
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由模塑PFA结构支撑的疏水性PTFE膜 |
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房屋 |
电抛光VAR 316L不锈钢 |
| 下游清洁度 |
小于0.03颗粒/升(%3C1颗粒/英尺3)大于0.01米 |
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挥发物 |
%3C10 ppb水分 |
| 移除等级 |
≥0.0015米 |
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| 内部表面处理 |
Ra中≤7 |
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| 氦泄漏等级 |
有资格的 |
2 × 10-10立方厘米/秒 |
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测验 |
1 × 10-9立方厘米/秒 |
| 操柞件 |
最大入口压力 |
23摄氏度(73华氏度)时207巴(3000磅/平方英寸) |
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最大向前压差 |
23摄氏度(73华氏度)时为4巴(60磅/平方英寸)
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最大反向压差 |
23摄氏度(73华氏度)时0.07兆帕(0.7巴，10磅/平方英寸)
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最高工作温度 |
120摄氏度(248华氏度) |
颗粒滞留
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大于99.9999999% (9 LRV)的所有颗粒去除率@ 30 slpm(参考最具穿透性的颗粒尺寸) |
| 流量额定值 |
参考性能数据 |