英特格Wafergard® Mini XL 在线气体过滤器，WGFG02PRU现货，ENTEGRIS

英特格Wafergard® Mini XL 在线气体过滤器，WGFG02PRU现货，ENTEGRIS

英特格Wafergard® Mini XL 在线气体过滤器，WGFG02PRU现货，ENTEGRIS

英特格Wafergard® Mini XL 在线气体过滤器，WGFG02PRU现货，ENTEGRIS

 Wafergard Mini XL 在线气体过滤器是一种可以过滤小至 0.003μm 颗粒的过滤器，具有很高的颗粒去除精度。紧凑的设计使得即使在管道复杂的地方也能轻松安装，并且可以减压或加压使用。
应用
Wafergard Mini XL 在线气体过滤器应用
CVD
干蚀刻机 
惰性气体，工作温度相对较低（120℃以下）
规格
产品规格
 

材料： 筛选 聚四氟乙烯
支持 粉煤灰
O 型圈 聚四氟乙烯
外壳/端盖 316L不锈钢
内部处理： 电解抛光（内表面粗糙度：Ra < 0.64 µm）
特殊电解抛光（内表面粗糙度：Ra < 0.17 µm）

排除粒径： 0.003微米
膜面积： 30平方厘米
联系： 6.35 mm (1/4") 或 9.53 mm (3/8") 压缩密封件（兼容世伟洛克）
  6.35 mm (1/4") 或 9.53 mm (3/8") 垫圈密封（VCR 兼容）
使用条款： 最大工作压力 小于1兆帕
最大允许正压差 0.4兆帕
最大允许反向压差 0.07MPa
最高工作温度 120℃
附件： 前套圈、后套圈、压缩密封用螺母各 2 个
（适用型号：WGFG02PS1、WGFG02PSU、WGFG32PS1）
  

 型号
Wafergard Mini XL 在线气体过滤器型号
型号 内表面光洁度 配件类型 配件尺寸
WGFG02PRU Ra < 0.17 微米 垫片密封，兼容 VCR 6.35 毫米（1/4 英寸）
WGFG02电源 Ra < 0.17 微米 压缩密封，兼容 Swagelock6.35 毫米（1/4 英寸）
WGFG32PRU Ra < 0.17 微米 垫片密封，兼容 VCR 9.53 毫米（3/8 英寸）