Wafergard
MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器
Wafergard MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器为超纯气体应用提供卓越的颗粒过滤
合身尺寸
1/2"
配件类型
垫片密封（VCR 兼容） 男性入口/出口 压缩密封（Swagelok 兼容） 男性入口/出口
长度
127.0 毫米（5.00 英寸） 118.7 毫米（4.67 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
Wafergard MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线气体过滤器采用 由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜， 在超纯气体应用中提供 卓越的微粒过滤。
过滤面积大，过滤面积大 3 倍，压降低，流量大
与当前一代过滤器相同的长度尺寸，无需更改气体面板或输送系统的设计即可轻松实施
延长过滤器寿命，比上一代产品长 3 倍
应用
Wafergard MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器应用
过滤SiCl 4、GeCL 4和POCl 3
光纤应用
石英玻璃应用
产品规格
材料 膜 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 316L不锈钢
O形圈 封装的氟橡胶 (E-FKM)
表面处理内部 ≤25 μin Ra (RR4, SS4), ≤7 μin Ra (RR6)
移除等级 ≥99.9999999% 去除气体中≥0.0015 μm 的颗粒
下游清洁度<0.03 个颗粒/升