提供高产量和快速排气，允许负载锁定和/或转移室以更高的速度填充，而没有颗粒扰动或过度湍流。
- 获得专利的烧结镍技术在所有应用中都提供了卓越的性能
- 这种设计能够去除进入气体中大于0.0015 m的颗粒，最大限度地减少晶片缺陷
- 紧凑型扩散器中的烧结镍专利技术
- 易于安装/改装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
产品规格
| 连接 |
入口:垫片密封(VCR兼容) |
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出口:ISO NW隔板安装兼容真空法兰(兼容标准ISO快速接头，KF或QF，隔板夹具)，或无(无法兰) |
| 材料 |
扩散元件:获得专利的烧结镍膜过滤器 |
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o型圈:碳氟化合物 |
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外壳:316L不锈钢 |
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内部表面光洁度:Ra中≤32μ |
| 下游清洁度 |
%3C0.003颗粒/升(%3C1颗粒/英尺3)%3E0.01微米 |
| 移除等级 |
≥0.0015微米 |
| 可靠性 |
在25°C(77°F)的最大额定入口压力下，100，000次循环可靠性 |
| 最大工作条件 |
出口至真空的最大入口压力:4巴(60 psig) |
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最大压差:5巴(75 psid) |
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最高工作温度:100摄氏度(212华氏度) |
| 保证 |
2年* |