ENTEGRIS WGFGMBRR2. ENTEGRIS WGFGMBRR4. ENTEGRIS WGFGMBSS2. ENTEGRIS WGFGMBSS3. ENTEGRIS WGFGMBSS4. ENTEGRIS WGFGT1PR1. ENTEGRIS
Wafergard
SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGFGMBRR2. ENTEGRIS WGFGMBRR4. ENTEGRIS WGFGMBSS2. ENTEGRIS WGFGMBSS3. ENTEGRIS WGFGMBSS4. ENTEGRIS WGFGT1PR1. ENTEGRIS
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFA21KP0 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS YY5032PS1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFA21KP0 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS YY5032PS1 过滤器
