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过滤器
ENTEGRIS气体过滤器，SI2MSNFE05
 
 

  • ENTEGRIS气体过滤器，SI2MSNFE05

  • 产品分类：Entegris
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产品规格
材料 过滤元件:NF专利烧结镍膜 SF -专有烧结不锈钢膜
  外壳底座 半挂车F20 316L电解抛光不锈钢
入口/出口连接 表面线1.125英寸C形密封件
移除等级 %3E0.0015微米
内部表面处理 Ra中的% 3c 5μ
氦泄漏等级 合格:2 x 10-10立方厘米/秒 已测试:1 x 10-9立方厘米/秒
下游清洁度 粒子* %3C0.03颗粒/升(%3C1颗粒/英尺3)≥0.01米
  挥发物** H的挥发性放气2哦，哦2THC低于可检测的极限
(通过室温下的RGA和FID)
颗粒滞留 NF-所有颗粒的去除率大于99.9999999%(以最具穿透性的颗粒尺寸为基准)
SF-所有颗粒的去除率大于99.9999%(以最具穿透性的颗粒尺寸为基准)
操柞件 最大入口压力 20摄氏度(68华氏度)时为34.5巴(500磅/平方英寸)
  最大前进/后退压差 23°C(73°F)时10巴(150 psid)NF-Micro和SF-Micro
    8巴(115 psid)，23°C(73°F)NF-Mini和NF-Mini XL
    23摄氏度(73华氏度)时20巴(300磅/平方英寸)
  最高工作温度 惰性气体:400摄氏度(752华氏度)，35巴(500磅/平方英寸)
    腐蚀性和反应性气体:50摄氏度(122华氏度)，35巴(500磅/平方英寸)
*颗粒清洁度符合SEMASPEC颗粒脱落测试方法(#93021511A-STD)。
* *挥发性清洁度符合以下SEMASPEC测试方法:THC贡献(#90120396B-STD)、水分贡献(#90120397B-STD)、氧气贡献(#90120398B-STD)。
参考资料产品文档
2022年5月1日发布记录表Wafergard SL 1.125" C型密封气体过滤器
 
下载PDF580.1 kB
发布于2020年11月2日手册和指南Wafergard气体过滤器兼容性指南
 
下载PDF102.3 kB
零件号
Wafergard SL 1.125" C型密封气体过滤器零件号
零件号码 产品类型
WGSLNFC1H NF-Mini XL过滤器
WGSLNFC1L 纳滤微过滤器
WGSLNFC1M 纳滤迷你过滤器
WGSLSFC1L SF-微过滤器
WGSLSFC1M 超小型过滤器
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